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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：高精度測(cè)量顯微鏡

  • 產(chǎn)品型號(hào)：三豐MF/MF-U系列
  • 產(chǎn)品廠商：日本三豐
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
★自動(dòng)化且精度較高的測(cè)量顯微鏡(*小顯示分辨力0.01um)。 ★主機(jī)的前臺(tái)操作設(shè)計(jì)是基于UD( 通用化設(shè)計(jì))的理念。 ★配備三軸電動(dòng)前置控制手柄，這使傳統(tǒng)的顯微鏡操作有了全新的變化，即使在快速運(yùn)動(dòng)的過程中也能進(jìn)行精細(xì)定位。 ★用戶可選擇傳統(tǒng)的顯微鏡光學(xué)管路或帶內(nèi)置激光自動(dòng)對(duì)焦功能的光學(xué)管路，其觀察方法多種多樣，提高了測(cè)量工作的效率。 ★行程為250×150mm 的大工作臺(tái)可為大工件的測(cè)量提供足夠的空間。 ★使用超高精度低熱膨的玻璃光柵尺和高分辨力的讀數(shù)頭。 ★暢銷的數(shù)據(jù)處理裝置QM-Data200 和Vision Unit可結(jié)合使用，提供有效且穩(wěn)定的測(cè)量環(huán)境。 ★晶片夾持器(可用于小于8" 的晶片) 和高硬度中心支架滿足高精度測(cè)量的需求。 ★電動(dòng)轉(zhuǎn)塔型擁有回縮功能，該功能在更換物鏡時(shí)啟動(dòng)工作。
詳情介紹：

高精度測(cè)量顯微鏡MF/MF-U系列產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：


 

型號(hào)

HyperMF-B2515B

HyperMF-UB2515B

HyperMF-UD2515B

HyperMF-UE2515B

HyperMF-UF2515B

貨號(hào)

176-430*1

176-431*1

176-432*1

176-433*1

176-434*1

光路

 

有限校正光學(xué)系統(tǒng)

無(wú)限校正光學(xué)系統(tǒng)
BF(亮視場(chǎng))

無(wú)限校正光學(xué)系統(tǒng)
BD(亮/暗視場(chǎng))

無(wú)限校正光學(xué)系統(tǒng)
BF(亮視場(chǎng))帶LAF功能

無(wú)限校正光學(xué)系統(tǒng)
BF(亮/暗視場(chǎng))帶LAF功能

標(biāo)準(zhǔn)分劃板（內(nèi)置）

90o點(diǎn)劃線十字線(線寬5μm)

可調(diào)瞳距

西登托夫型調(diào)節(jié)范圍：51-76mm

光路切換比

觀察/TV顯微攝影=50/50

垂直傾斜度

25o

傾斜

TV端口

作為標(biāo)準(zhǔn)配置提供

觀察圖像

正像

目鏡

放大倍率

10X, 15X, 20X

物鏡（可選）

 

可選單筒目鏡(配有一個(gè)目鏡)
或雙筒目鏡(配有兩個(gè)目鏡)

配備兩個(gè)10X目鏡

ML系列物鏡

1X,3X,5X,10X,20X, 50X,100X

—

BF（亮視場(chǎng)）

—

M Plan Apo, M plan Apo SL, G plan Apo

BD（亮/暗視場(chǎng)）

—

BD Plan Apo, BD Plan Apo SL

轉(zhuǎn)塔（可選）

BF（亮視場(chǎng)）

—

(配有四孔手動(dòng)傳感器/電動(dòng)五孔傳感器*2)

BD（亮/暗視場(chǎng)）

—

(配有四孔手動(dòng)傳感器/電動(dòng)五孔傳感器*3)

聚焦部分

工件高度

可達(dá)150mm

測(cè)量精度

(1.5+0.01L) μm L：測(cè)量長(zhǎng)度(mm)

驅(qū)動(dòng)方式

使用控制手柄進(jìn)行電動(dòng)控制

照明裝置

透射照明裝置

遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，內(nèi)置孔徑光闌，鹵素?zé)襞?12V，50W)，100級(jí)光強(qiáng)度可調(diào)，光纖冷光照明

反射照明裝置

科勒照明，可變孔徑光闌機(jī)制，鹵素?zé)襞?12V，100W)，100級(jí)光強(qiáng)度可調(diào)，光纖冷光照明

工作臺(tái)

測(cè)量范圍（XxY）

250×150mm

測(cè)量精度*4（X和Y軸無(wú)負(fù)載）

(0.9+0.003L) μm L：測(cè)量長(zhǎng)度(mm)

工作臺(tái)臺(tái)面尺寸

460×350mm

載物玻璃有效尺寸

300×200mm

旋轉(zhuǎn)角度

±3o

承重

30kg

驅(qū)動(dòng)方式

使用手柄進(jìn)行電動(dòng)控制

檢測(cè)器

高精度光柵尺(磚利)

數(shù)顯

分辨力

0.01μm

顯示軸

X, Y, Z

數(shù)據(jù)處理裝置

QM-DATA200或Vision Unit

操作部分

手柄急停按鈕

可用

精細(xì)間距

可用

數(shù)據(jù)輸出

可用

數(shù)字顯示復(fù)位

可用

照明光強(qiáng)度控制

可用

LAF（只對(duì)焦）

—

—

可用

LAF（跟蹤對(duì)焦）

—

—

可用

轉(zhuǎn)塔控制

—

可用 (安裝電動(dòng)轉(zhuǎn)塔時(shí))

重量

顯微鏡主機(jī)

約250kg

約255kg

電源裝置

14kg

電源

100 - 240V AC, 50/60 Hz *大功耗：700W

 

 

 

 

 

產(chǎn)品特點(diǎn)


★MF-U 系列的電動(dòng)型。X、Y 和 Z 軸均為電動(dòng)控制，工作臺(tái)可由控制手柄進(jìn)行操作。
★Vision Unit (選件) 能使影像自動(dòng)對(duì)焦。
★照明裝置(反射／透射) 可選用高亮度LED 燈泡或鹵素?zé)襞?必選)。
★利用可變孔徑光闌(反射／透射) 可進(jìn)行無(wú)衍射觀察測(cè)量。
★標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量顯微鏡，配有種類繁多的可選附件，包括各種CCD 數(shù)碼相機(jī)。
★使用經(jīng)過驗(yàn)證的FS 光學(xué)系列高NA 物鏡(長(zhǎng)工作距離型)。
★金相顯微鏡和測(cè)量顯微鏡的功能相結(jié)合，提供了高分辨力觀察和高精度測(cè)量的方案。
★高倍放大目鏡，觀察倍數(shù)高達(dá)4000X。
★MF-UE/UF 能夠進(jìn)行激光自動(dòng)對(duì)焦。標(biāo)準(zhǔn)激光自動(dòng)對(duì)焦功能還帶有追蹤功能，即使在工作臺(tái)移動(dòng)時(shí)，也能保持對(duì)焦。

 

 

BF（亮視場(chǎng)）

型號(hào)

MF-UG2017D

MF-UG3017D

MF-UG4020D

MF-UE2017D

MF-UE3017D

MF-UE4020D

貨號(hào)

176-784*1

176-785*1

176-786*1

176-790*1

176-791*1

176-792*1

BD（亮/暗視場(chǎng)）

型號(hào)

MF-UH2017D

MF-UH3017D

MF-UH4020D

MF-UF2017D

MF-UF3017D

MF-UF4020D

貨號(hào)

176-787*1

176-788*1

176-789*1

176-793*1

176-794*1

176-795*1

觀察圖像

BF(亮視場(chǎng))，DF(暗視場(chǎng)) (僅MF-UC和MF-UD型)，偏光，微分干涉對(duì)比(DIC)/正像

目鏡

屈光度調(diào)節(jié)

10X(標(biāo)準(zhǔn)選件) (視場(chǎng)數(shù)：24)，15X，20X

物鏡（可選）

BF(亮視場(chǎng))

M Plan Apo, M Plan Apo HR, M Plan Apo SL, G Plan Apo (所有鏡頭)

BD(亮/暗視場(chǎng))

BD Plan Apo, D Plan Apo HR, BD plan Apo SL (所有鏡頭)

照明裝置（二選一）

LED照明裝置

透射照明：遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，內(nèi)置孔徑光闌，白色LED光源，無(wú)極亮度調(diào)節(jié)，冷卻風(fēng)扇
反射照明：科勒照明，可調(diào)孔徑光闌，白色LED光源，無(wú)極光強(qiáng)度調(diào)節(jié)
控制裝置：電源ON/ OFF開關(guān)(主開關(guān))，100 - 240V AC電源輸入連接器

鹵素照明裝置

透射照明：遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，內(nèi)置孔徑光闌，鹵素?zé)襞?12V, 50W)，無(wú)極亮度調(diào)節(jié)，冷卻風(fēng)扇
反射照明：BF/ BD柯勒照明與可調(diào)孔徑光闌，12V100W或12V15W鹵素?zé)襞?可選)，外部光纖照明，無(wú)級(jí)亮度調(diào)節(jié)
控制裝置：電源ON/ OFF開關(guān)(主開關(guān))，100 - 240V AC電源輸入連接器

影像AF*2

√

√

激光AF*2

一

√

XY軸

測(cè)量范圍

200×170mm

300×170mm

400×200mm

200×170mm

300×170mm

400×200mm

Z軸

測(cè)量范圍

220mm

測(cè)量精度*3

（X和Y軸無(wú)負(fù)載）

(2.2+0.02L) μm L：測(cè)量長(zhǎng)度(mm)

數(shù)顯計(jì)數(shù)器

分辨力

1/0.5/0.1μm 可切換

 

型號(hào)

MF-G2017D

MF-G3017D

MF-G4020D

貨號(hào)

176-781*1

176-782*1

176-783*1

觀察圖像

BF(明視場(chǎng))/正像

目鏡

屈光度調(diào)節(jié)

10X(視場(chǎng)數(shù)24)，15X，20X
注：?jiǎn)文客茬R：1個(gè)10X目鏡(標(biāo)配)，雙目筒鏡：2個(gè)10X目鏡(標(biāo)配)

物鏡

 

ML系列3X物鏡(標(biāo)配), 1X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X

照明裝置（二選一）

LED照明裝置

透射照明：遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，內(nèi)置孔徑光闌，白色LED光源，無(wú)極亮度調(diào)節(jié)，冷卻風(fēng)扇
反射照明：科勒照明，可調(diào)孔徑光闌，白色LED光源，無(wú)極亮度調(diào)節(jié)
控制裝置：電源ON/ OFF開關(guān)(主開關(guān))，100 - 240V AC電源輸入連接器

鹵素照明裝置

透射照明：遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，內(nèi)置孔徑光圈，鹵素?zé)襞?12V, 50W)，無(wú)極亮度調(diào)節(jié)，冷卻風(fēng)扇
反射照明：科勒照明，可調(diào)孔徑光圈，鹵素?zé)襞?12V, 50W)，無(wú)極亮度調(diào)節(jié)，冷卻風(fēng)扇
控制裝置：電源ON/ OFF開關(guān)(主開關(guān))，100 - 240V AC電源輸入連接器

影像AF*2

?

XY軸

測(cè)量范圍

200×170mm

300×170mm

400×200mm

Z軸

測(cè)量范圍

220mm

測(cè)量精度*3

（X和Y軸無(wú)負(fù)載）

(2.2+0.02L) μm L：測(cè)量長(zhǎng)度(mm)

數(shù)顯計(jì)數(shù)器

分辨力

1/0.5/0.1μm 可切換

 









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